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技術參數
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工作溫度[℃]
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500 - 1320
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500 - 1320
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最高淬火壓力(絕對值)
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12
|
1.9
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工作真空度范圍[mbar]
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低真空
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10-1
|
10-1
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高真空
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10-4
|
10-5
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有效工作區(W x L x H) [mm]
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610 x 910 x 610
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910 x 1220 x 910
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最大裝爐量[kg]
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800
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1350
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加熱元件材料
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石墨
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鉬
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隔熱層
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特殊石墨氈，可選擇覆蓋CFC
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鉬+不銹鋼
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機械泵抽氣速率[m3/h]
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200
|
300
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羅茨泵抽氣速率[m3/h]
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500
|
1000
|
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機械泵抽氣速率（可選）[m3/h]
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300
|
300
|
|
羅茨泵抽氣速率 （可選）[m3/h]
|
1000
|
1000
|
|
擴散泵抽氣速率（可選）[L/sec]
|
10000
|
10000
|
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維持泵抽氣速率（可選）[m3/h]
|
4
|
32
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控制系統
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總連接負荷[kVA]
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190
|
290
|
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氣冷風機負荷[kW]
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115
|
75
|
|
最小水壓[bar]
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3.5
|
2.75
|
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最大水流量[m3/h]
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40
|
50
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溫度均勻性[℃]
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正負5度
|
正負5度
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